SITIME晶振微机电系统(MEMS)kHz振荡器是极小的低功耗32kHz器件,针对移动和其他电池供电应用进行了优化.硅MEMS技术实现了超小尺寸和芯片级封装.这些器件可实现更大的元件布局灵活性,并消除了外部负载电容,从而节省了额外的元件数量和电路板空间.SiTime采用NanoDrive™技术,这是一种工厂可编程输出,可降低电压摆幅,从而最大限度地降低功耗.还提供TempFlatMEMS™技术,该技术可在1.2mmx1.2mm的封装内实现首个32kHz±3百万分之一(ppm)超级TCXO.SiTime的MEMS振荡器包括一个MEMS谐振器和一个可编程模拟电路.kHzMEMS谐振器采用SiTime独特的MEMSFirst™工艺.关键制造步骤是EpiSeal™,在此期间MEMS谐振器的退火温度超过+1000°C.EpiSeal创造了一个极其牢固,干净的真空室来封装MEMS谐振器,可确保最佳的性能和可靠性
MEMS振荡器提供低功耗,小尺寸,高性能和物理稳健性的有吸引力的组合,使其成为众多应用的理想选择,特别是在便携式和可穿戴电子产品中. 他们利用标准半导体制造和封装方法的能力意味着他们的成本和性能将继续提高,确保他们将继续进入传统上保留用于石英晶振和陶瓷谐振器的应用.该电子振荡器产生具有精确频率的输出以产生定时脉冲并同步事件.基于微机电系统(MEMS)技术的振荡器将精确的频率生成与低功耗相结合,并且在时钟电路中变得越来越流行.本文深圳康比电子将介绍MEMS技术,MEMS振荡器以及为什么它们在便携式和非便携式应用中取代更传统的解决方案.