SITIME晶振微机电系统(MEMS)kHz振荡器是极小的低功耗32kHz器件,针对移动和其他电池供电应用进行了优化.硅MEMS技术实现了超小尺寸和芯片级封装.这些器件可实现更大的元件布局灵活性,并消除了外部负载电容,从而节省了额外的元件数量和电路板空间.SiTime采用NanoDrive™技术,这是一种工厂可编程输出,可降低电压摆幅,从而最大限度地降低功耗.还提供TempFlatMEMS™技术,该技术可在1.2mmx1.2mm的封装内实现首个32kHz±3百万分之一(ppm)超级TCXO.SiTime的MEMS振荡器包括一个MEMS谐振器和一个可编程模拟电路.kHzMEMS谐振器采用SiTime独特的MEMSFirst™工艺.关键制造步骤是EpiSeal™,在此期间MEMS谐振器的退火温度超过+1000°C.EpiSeal创造了一个极其牢固,干净的真空室来封装MEMS谐振器,可确保最佳的性能和可靠性